L4513-3擴散爐

一、簡介     

    擴散爐是半導體生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一，用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導纖維等行業(yè)的擴散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝。

       擴散爐由控制系統(tǒng)、進出舟系統(tǒng)、爐體加熱系統(tǒng)和氣體控制系統(tǒng)等組成。控制部分包括：溫控器、功率部件、超溫保護部件、系統(tǒng)控制。系統(tǒng)控制部分有四個獨立的計算機控制單元，分別控制每層爐管的推舟、爐溫及氣路部分，是擴散/氧化系統(tǒng)的控制中心。輔助控制系統(tǒng)，包括推舟控制裝置、保護電路、電路轉(zhuǎn)接控制、三相電源指示燈、照明、凈化及抽風開關(guān)等。

二、產(chǎn)品特點： 
◆主機為水平一至四管爐系統(tǒng)構(gòu)架，獨立完成不同的工藝或相同工藝 
◆工業(yè)計算機控制系統(tǒng)，對爐溫、進退舟、氣體流量、閘門等動作進行自動控制 
◆采用懸臂送片器：操作方便、無摩擦污染等 
◆關(guān)鍵部件均采用進口，確保設(shè)備的高可靠性 
◆工藝管路采用進口閥門管件組成氣密性好、耐腐蝕、無污染

◆控溫精度高，溫區(qū)控溫穩(wěn)定性好； 
◆具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能 
三、L4513-3擴散爐主要技術(shù)指標 

1、石英管直徑：￠120 ， 3管單管

2、工藝規(guī)格：4寸硅片

3、工作溫度：200-1100℃

4、恒溫區(qū)長度：600mm

5、升溫速率：15℃/分

6、升溫功率：小于10KW

7、保溫功率：小于5KW

8、外形尺寸：2000MM×600 MM×1400MM

9、重量：600Kg
10、工作臺：有凈化/無凈化 
11、工藝氣路：對應的工藝氣路，氣路閥門組件采用國際優(yōu)質(zhì)品牌產(chǎn)品

1、石英管直徑：￠120 ， 3管單管

2、工藝規(guī)格：4寸硅片

3、工作溫度：200-1100℃

4、恒溫區(qū)長度：600mm

5、升溫速率：15℃/分

6、升溫功率：小于10KW

7、保溫功率：小于5KW

8、外形尺寸：2000MM×600 MM×1400MM

9、重量：600Kg
10、工作臺：有凈化/無凈化 
11、工藝氣路：對應的工藝氣路，氣路閥門組件采用國際優(yōu)質(zhì)品牌產(chǎn)品